专利摘要:本实用新型公开了一种全自动晶圆切割设备,属于晶圆切割加工技术领域,包括底座、料篮、上下料机构、龙门旋转模组、加工载台模组和激光切割模组,其通过在上下料机构中设置可沿Z方向驱动的Z轴直线模组和可沿X轴驱动的X轴直线模组,以利用上料夹爪实现对晶圆的自动上下料;通过在龙门旋转模组内设置两个可通过水平旋转互换位置的龙门夹爪球盟会官网入口,,对已加工和待加工的晶圆进行互换,实现工艺加工与上料动作并行,提高设备的生产效率。本实用新型的全自动晶圆切割设备,其结构设计合理球盟会官网入口,,以龙门旋转模组作为主体来串联其它工位,实现双轴并联同时运行球盟会官网入口,,缩短设备整体工序运行时间,优选了各部件功能及外形,占地空间小,便于运输、安装,节省空间成本。
今年以来帝尔激光新获得专利授权72个,较去年同期增加了56.52%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.4亿元,同比增44.56%。